围绕集成电路设备等领域超高精度运动平台（晶圆台/工件台/光学调整台）等对原子级精密测量技术、纳米级运动定位及扫描跟踪技术，以及高速高动态高精度伺服控制技术等核心挑战，重点攻关超精密跨尺度纳米驱动与控制技术与面向极限环境的纳米测控系统研制与工程化产业化开发，实现纳米级测控领域的高水平系列化产品批量产能，打破国外技术壁垒，支撑国家大科学装置、集成电路制造装备以及精密光学制造等国家战略科技领域的自主化产业发展。
技术指标要求：（1）实现 X/Y/Z/Rx/Ry/Rz 六自由度的动作；（2） X/Y/Z 方向行程≥ 10mm，驱动分辨率≤ 2nm；Rx/Ry/Rz 转角≥1.5°；（3）X/Y/Z向定位分辨率≤ 50nm，Rx/Ry/Rz方向转角分辨率≤10μrad；（4）承载能力≥50Kg
