基于新型衬底材料的声表面波器件的构建。研究和选择具有高声速的衬底材料,通过表面处理或层状结构改性,优化衬底材料的性能。例如,通过表面光滑处理或添加缓冲层,减少声波传播过程中的散射和衰减。研究将高声速压电材料和高声速衬底材料进行异质集成的技术。通过结合不同材料的优势,提高SAW器件的频率和性能。
基于新型衬底材料的声表面波器件的构建。研究和选择具有高声速的衬底材料,通过表面处理或层状结构改性,优化衬底材料的性能。例如,通过表面光滑处理或添加缓冲层,减少声波传播过程中的散射和衰减。研究将高声速压电材料和高声速衬底材料进行异质集成的技术。通过结合不同材料的优势,提高SAW器件的频率和性能。
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